EX-731型荧光X-Ray元素膜厚仪是一款专门用来测试各种元素厚度的一种**仪器。采用多能谱分析器，使用256高频分析器，光谱自动分析.*高可测量3层膜厚.
供应日本电测EX-731型荧光X-Ray元素厚度测量仪膜厚仪X-Y-Z轴可移动式测量台参数
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测量台操作方式 |
手動 |
自動 |
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测量行程 |
单位(mm) |
170 × 110 |
300 × 280 |
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移動量 |
X(mm) |
70 |
80 |
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Y(mm) |
70 |
60 |
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Z(mm) |
80（測定物高*大150） |
50 |
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測定物高（*大） |
80（150可选） |
50 |
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外形(mm) |
600(W)×465(D)×730(H) |
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重量(kg) |
79 |
85 |
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测量台载重(kg) |
3 |
1 |
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電源 |
AC200V±10V |
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供应日本电测EX-731型荧光X-Ray元素厚度测量仪膜厚仪技术参数
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X線源 |
油浸式小型微焦点Ｘ線管 |
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照射方式 |
上面垂直照射方式 |
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検出器 |
比例計数管 |
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准直孔 |
5種類(自動切換式) |
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样品观察 |
CCD镜头 |
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測定対象 |
原子番号22(Ti)～82(Pb) |
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滤波器 |
(Co、Ni)自動切換 |
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厚度测定范围 |
原子番号22～24：0.2～約20μm |
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検量線 |
検量線自動作成 |
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测量功能 |
単层膜厚測定 |
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测量模式 |
自動测量 |
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自動测量台功能 |
測定位置指定(X-Y-Z)
測定位置确认功能 |
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数据処理機能 |
統計量表示：平均、標準偏差、*大、*小、方差、Cp、Cpk |